微细小孔加工工艺分析

目前微细小孔加工技术现已广泛应用于精密过滤设备、化纤喷丝板、喷气发动机喷嘴、电子计算机打印头、印刷电路板、天象仪星孔板、航空陀螺仪表元件、飞机叶片以及医疗器械中的红血球细胞过滤器等零件的加工领城。本文分析用激光加工和电火花微孔加工的方法，每一种加工方法都有其独特的优点和缺点，这主要取决于工件孔径的大小，孔的排列，孔的密度，孔的精度要求。

激光加工主要对应的是0.1mm以下的材料，电子工业中已经广泛地应用了激光加工技术。例如，精密电子部件、集成电路芯片引线以及多层电路板的焊接；混合集成电路中陶瓷基片或宝石基片上的钻孔、划线和切片；半导体加工工艺中激光走域加热和退火；激光刻蚀、掺杂和氧化；激光化学汽相沉积等。但是作为金属的微细小孔加工，激光存在的问题是会产生一些烧黑的现象，容易改变材料材质，以及残渣不易清理或无法清理的现象。不是完美的微孔加工解决方案。如果要求不高，可以试用，但是针对批量的订单，激光加工就无法满足客户的交期和成本的期望值。

电火花微孔加工技术随着微机械、精密机械、光学仪器等领域的不断拓展而得到广泛的关注。电火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔径和深度由调节电参数就可得到控制等优势，使其在各国的研究日益活跃。电火花精密微孔机利用电火花放电原理加工精密微孔。适合于加工各类喷嘴精密微孔、化纤纺丝板精密微孔等各类精密微孔。数控电火花精密微孔机通过简单电极数控组合，加工喷丝板不同的规格、形状、孔型的微孔和喷丝板的各种异形微孔。电火花精密微孔机加工精密圆形微孔范围一般在在￠0.08-￠1mm，孔深一般在1-3mm以内。孔的加工精度（孔径Φ0.2mm厚度≤1.0mm材料1Cr18Ni9Ti）±0.003mm。加工表面粗糙度: Ra≤0.6μm.单孔加工时间（孔径￠0.2mm厚度1.0mm材料1Cr18Ni9Ti）≤30秒。电火花精密微孔机可采用圆形细长丝电极或细长扁丝电极，亦可采用异形整体电极加工圆形或各种异形截面微孔。但是电火花加工是一个典型的慢加工，在加工微细小孔时表现的尤为明显，时间随着加工精度的提高而减慢。

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