超纯水处理设备，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。

超纯水处理设备又称超纯水机，超纯水设备，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。

随着科学技术的不断进步，我国药典对医药用水的法定制备方法进行了重新定义。因其使用的范围不同而分为纯化水、注射用水及注射用水，首次将过去的蒸馏水改为纯化水，并且对纯化水具体定义为"纯化水为采用蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其它适宜的方法制得供药用的水"。