等离子清洗机采用13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

Ø腔体采用不锈钢材料,保证系统材料的稳定性；

Ø采用15.56Mhz射频电源,清洗更彻底；

Ø支持自动手动模式，方便客户灵活操作；

Ø智能自动模式：可以设置为2次清洗，2次进气,每次清洗时间,进气稳定时间都可以设定；

Ø手动模式：手动模式下，系统可以启动定时功能，清洗时间到，系统自动停止工作；

Ø气压稳定功能（选配）：根据需要可以配置输出比例阀控制气体的流速，均衡腔体内压力；

Ø智能气路功能（选配）：根据需要，可以配置质量

Ø流量计系统，可以设置不同的清洗段落配置不同气体的流速；

Ø等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。