工业制氧设备的原理是利用空气分离技术，首先将空气以高密度压缩再利用空气中各成分的冷凝点的不同使之在一定的温度下进液脱离，再进一步精馏而得．工业上的用氧一般是通过此物理方法得到的。制氧机又叫空气分离设备。 按产品数量不同，可分为800m3/h以下小型设备；1000—6000m3/h中型设备；10000m3/h以上大型设备。 所谓的800m3/h ，1000—6000m3/h 表示制氧设备从空分塔的每小时产量。

中国制氧设备大体由空压机.预冷装置，纯化装置，空分塔等组成。