一种将辉光放电源当作离子源并且和质谱仪器联接行质谱测定的分析方法，被称为辉光放电质谱法，简称为GDMS。GDMS应用于多个学科领域，作用举足轻重，在材料科学领域，GDMS已经变成了无机固体材料，特别是高纯材料杂质成分分析的强有力方法。GDMS已经变成了反应性和非反应性等离子体沉积过程的控制和表征的工具。

中科百测辉光放电质谱仪应用

气体分析应用

因为使用分子气体(如氮气、氧气。、空气、水蒸气)能够使得稳定的辉光放电获得，因此气体的分析也能够使用GDMS。

1、Schelles等采用第二阴极技术使用GDMS进行大气中的颗粒物的测定。

2、Gordon等采用射频辉光放电离子阱质谱和级联质谱实时监控空气中的有毒污染物

3、McLuckey及其合作者报道了使用GDMS对大气样品中痕量杂质进行分析。

非导体分析应用

因为被分析样品在直流辉光放电中作为阴极,因此对于GDMS而言非导体样品作为分析样品类型不是理想不是十分的理想。对于此类样品，不仅能够采用射频辉光放电直接进行分析(块状或压制成块状),而且还能够将第二阴极引入或者混合压制样品(粉末)与导电材料(如Cu,Ag,石墨,Ta ，In,Ga等)将其制成阴极加以测定。

半导体分析应用

在GDMS的应用领域中，半导体材料的杂质分析是非常重要的，而且商业价值也非常的高。半导体材料中浓度极低的杂质元素就能够对其电学性质起到决定性作用。然而普通的分析方法并不能够胜任半导体的材料性质及杂质元素的含量水平。由于GDMS所具有的特点，其作为高纯半导体材料乃至半导体工业材料的分析手段变得比不可少。