这类洁净室的洁净等级也有1～9级，气流组织形式有单向流、非单向流、混分流、矢量流，根据车间的情况和生产工艺要求，选用不同的气流组织。其中1～5级气流流型为单向流或混合流，风速0.2～0.45m/s；6级气流流型为非单向流，换气次数50～60次/h；7级气流流型为非单向流，换气次数15～25次/h；8～9级气流流型为非单向流，换气次数10～15次/h。

这类洁净室，车间面积都是比较大的，在生产过程中会有一些化工物质产生。对于这样的空气净化系统的设计中采用就地解决的方案，还可以对一些排放物进行能源回收，对这类洁净室尽可能采取比较节能的设计方案。

将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿)，在空气中暴露30分钟，采集沉降菌，盖好平皿盖儿，置30-35℃培养箱内培养48小时，取出计数，车间内应为操作状态。检测沉降菌数量，每碟小于或等于10个，便能达到10万级净化车间标准。

一般来说，沉降菌法监测每月一次便可。净化车间工程常用的仪器有温湿度表、温湿度计、数显风速仪、红外温度计、压差计、多功能声级计、粒子计数器、风量仪等，它们是常规的实时检测设备，帮助检测是否达到10万级净化车间标准。