轮廓仪是一款检测物体轮廓要素的仪器,该仪器有两种类型,接触式与非接触式。
接触式轮廓仪
接触式轮廓仪是通过将待测物体的表面滑过测针以获取表面轮廓参数,例如角度处理(坐标角,Y坐标的角度,两线之间的角度),圆的处理(圆弧半径,圆心到圆心距离,圆心到直线的距离,交点到圆心的距离,直线到切点的距离),点线处理(两条线的交点,交点到直线的距离,交点和交点之间的距离,交点到圆心的距离),直线度、形状参数、槽深、槽宽、对数曲线、凹槽深度、凹槽宽度、凹槽曲率半径、凹槽余量、凹槽中心距离、轮廓、水平距离等。
接触式轮廓仪又可以分为轮廓仪和粗糙度轮廓测量一体机,前者只能测量轮廓参数,后者既可以测量轮廓参数又可以测量粗糙度参数,代表型号为中图仪器SJ5718和SJ5730。
接触式轮廓仪广泛应用于机械加工、电机、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业,可测轴承、滚针、滚子、电机轴、曲轴、圆柱销、活塞销、活塞、气门、阀门、齿轮、油泵油嘴、液压件、气动件、纺机配件等
非接触式轮廓仪(光学轮廓仪)是一种基于白光干涉原理的高精度微形态测量仪器。它可以测量从超光滑到粗糙,低反射率到高反射率的各种表面。从纳米级到微米级的工件粗糙度,平面度,微几何轮廓,曲率等,基于ISO / ASME / EUR / GBT四个国内外标准,共有300多种2D, 3D参数作为评估标准。
非接触式轮廓仪代表型号为中图仪器SuperView W1系列。
SuperView W1系列光学轮廓仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中,可测硅晶片、手机及屏、蓝宝石屏、薄膜、光学镜片、新材料等等。