全球半导体行业稳定向好,中国市场如火如荼也带动了整个洁净室产业的发展。综合来看,三因素决定我国半导体行业的高速发展:

1)国内半导体销售占比和增速远高于全球平均水平,半导体市场消费基数维持高位。

2)我国半导体设备支出占比小增速快,设备市场增长空间大。

3)半导体贸易逆差持续维持1,600亿美元高位,“进口替代”大势所趋。

层流:层流气流沿均匀的直线运动。空气通过覆盖率为的过滤器进入室内，再通过两侧升高的地板或隔断板返回室内。适用于洁净室等级要求高的环境。一般来说，洁净室的等级是1-100。它可以分为两种类型:

(1)水平层流型:水平气流由过滤器向一个方向吹出，由对面壁上的回风系统回流，粉尘随风排出房间。一般来说，污染是严重的。

优点:结构简单，运行后短时间内稳定。

缺点:创造成本高于紊流型，室内空间不易扩展。

(2)直线型层流型:房间的天花板全部被ULPA过滤器覆盖，空气从上到下吹，清洁度更高。在不影响其他操作区域的情况下，可快速将操作过程中或操作人员产生的粉尘排出房间。

优点:管理简单，运行初期状态稳定，不容易受到运行状态或操作人员的影响。

缺点:结构造价高，弹性空间难以使用，吊架占用空间合适，维修更换过滤器麻烦。

自动控制设备保证了整个调节过程

净化工程中空调系统的空气滤清器阻力随运行时间的增加而增大。为了保持风量，系统中的气阀需要调整。净化工程统一调试启动系统时，为了使风机空载启动，需要关闭风机出口的气阀。风机启动后，由于空气阀上的压力，很难打开。在净化工程中，选用空气过滤器前后压差的变化来控制风机的变频调速设备，供气量的调节会变得非常容易，供气压力也会变得稳定。

电话和消防设备是必不可少的

在净化工程中设置电话、对讲电话，减少人们在洁净区行走，减少灰尘量，火灾时及时与外界接触，为正常的操作接触创造条件。此外，在清洁工程中还应设置火灾报警系统，以避免火灾造成的不易被外界发现的严重经济损失。

怎样做到电子无尘车间的清洁卫生？(1)清洁洁净室墙面时，清洁工程室无尘布应使用。

(2)用90%去离子水和10%异丙醇制备洗涤剂。

(3)使用经批准的净化工程洁净室专用去污剂。

(4)每天对无尘车间的垃圾箱及配备的房间进行检查并及时清理。

(5)每层楼都要吸尘。并在《无尘车间清洁记录》上注明工作完成情况。例如，从哪里开始，从哪里结束。

(6)清洁无尘净化工程洁净室地面时，应先关闭净化系统，并将专用拖把用于无尘净化室应使用。

(7)带过滤器应使用的专用真空吸尘器，用于洁净室除尘。

(8)洁净室所有门窗应进行清洁和保养。

(9)洁净室应每天吸尘、拖地;墙壁、门窗应每周清洁一次。

(10)无尘车间也应真空吸尘并在抬高的地板下擦拭。

(11)电子无尘车间每三个月清洁一次架空地面下的立柱及支撑立柱。

(12)在洁净室工作时，要始终记得从上往下擦拭，从离门远的地方往门的方向擦拭。