氮化钛涂层是自PVD技术发明以来,常见的一种涂层,具有较高的性价比,也是在过去的年份中运用广泛的一种PVD涂层,它具有较高的薄膜硬度。用磁控溅射方法沉积的氮化钛沉积速度慢,表面颗粒小所以表面光滑,而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度较低。用磁控阴极弧的方法沉积的氮化钛,沉积速度快,但表面颗粒大,所以表面光洁度较差,液滴等表面缺陷也较多,但是可以获得较高的表面硬度。
客户需要根据产品特性和要求来决定采用何种方法获得氮化钛(TIN)涂层。胜倍尔镀膜的镀膜机自身带有增强型磁控溅射和磁控阴极弧两种方法,可以灵活根据工件来选择不同的方法获得氮化钛(TiN)涂层。
氮化铬是什么
中文名称氮化铬
CAS 2053-27-9
英文名称 chromium nitride
英文别名 Chromium nitride (Cr2N); Chromium nitride; Dichromium nitride; chromic nitrogen(-3) anion[1]
EINECS 246-016-3
PVD的全写为Physical Vapor Deposition,中文翻译为物相沉积。
采用阴极电弧等离子体沉积技术。阴极电弧等离子体沉积是相对较新的薄膜沉积技术,它在许多方面类似于离子镀技术。其优点:在发射的粒子流中离化率高,而且这些离化的离子具有较高的动能(40-100eV)。许多离子束沉积的优点,如提粘着力,增加态密度、对化合物膜形成具有高反应率等优点在阴极电弧等离子体沉积中均有所体现。而阴极电弧等离子体沉积又具有自己一些独特优点,如可在较多复杂形状基片上进行沉积,沉积率高,涂层均匀性好,基片温度低,易于制备理想化学配比的化合物或合金。
通过蒸发过程将阴极材料蒸发是源于高电流密度,所得到的蒸发物由电子、离子、中心气相原子和微粒组成。在阴极电弧点,材料几乎百分百被离化,这里离子在几乎垂直于阴极表面的方向发射出去,当带有高能量的铬离子碰到氮气后便会马上产生化学反应,变成气态的氮化铬分子了。